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封装 / 设备详情

SiC晶圆衬底/EPI缺陷检测

产品介绍

针对IGBT行业陶瓷基板在制作过程中如何识别不良缺陷的检测需求,通过设计专用的光学检测系统和缺陷智能检测AI分类算法,结合高精度和高速度的大理石移动平台,智能判定各类缺陷,并提取分类,有效解决IGBT陶瓷基板制作过程中质量控制的痛点。

产品特点

1.检测速度0.25sec/FOV,2D检测分辨率可达10um/Pixel;
2.主要检测陶瓷基板表面任意位置划痕、压痕、氧化、皱皮、异物、崩边、短路、开路等缺陷;
3.兼容治具尺寸范围:510mm*460mm,支持定制;
4.模块化光路密封设计,高稳定性光路传输结构;
5.优异的失量图形读取处理能力,瞬间处理超大图形。

检测项目

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